- Chambre à vide
- Cluster tool
- Moteur à entraînement direct
- E/S étendues
- Zones de sécurité
- Protection anticollision
Description
Le robot sous vide SIASUN SM11 fonctionne à l'intérieur des chambres à vide et des architectures d'outils cluster. Conçu pour le contrôle de la contamination, la répétabilité et une durée de vie en cycles fiable.
Il intègre une structure à moteur à entraînement direct, un module d'E/S étendu, des zones de sécurité configurables et une protection anticollision.
Le SM11 répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | SM11 |
|---|---|
| Type de robot | Robot sous vide |
| Caractéristiques | Entraînement direct, zones de sécurité |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN SM11 Vacuum Robot fonctionne dans les architectures sous vide de type cluster. Moteur à entraînement direct avec zones de sécurité configurables et protection contre les collisions.
Robot sous vide SIASUN SM11 convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Robot sous vide SIASUN SM11
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