- Vacuum wafer transfer
- Load locks
- Process modules
- Repeatability
- Throughput
- Contamination control
Description
Le SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transfère les wafers entre sas de chargement, chambres de transfert et modules de procédé (dépôt, gravure, métrologie) sans rompre les environnements contrôlés.
Il améliore la répétabilité, le débit et le contrôle de la contamination dans la fabrication de semi-conducteurs et en salle blanche.
La Phoenix B Series est destinée aux applications de manipulation sous vide dans les semi-conducteurs, l'éducation et l'industrie.
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Fonctionnalités
Spécifications
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