Descrizione

Il SIASUN PHOENIX PLUS Series Vacuum Manipulator opera all'interno di apparecchiature di processo sotto vuoto quali i cluster tool per deposizione, attacco o processi sotto vuoto correlati.

Trasferisce wafer o substrati tra camere di carico, moduli di processo e stazioni di metrologia mantenendo condizioni di vuoto controllate.

La Phoenix Plus Series è destinata ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei settori semiconduttori e industriale.

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Caratteristiche

Manipolatore a vuoto
Strumenti per i cluster
Deposizione/incisione
Camere di carico
Stazioni di metrologia
Condizioni di vuoto

Specifiche tecniche

Modello: Manipolatore a vuoto serie PHOENIX PLUS
Tipo di robot: Manipolatore a vuoto
Destinazione d'uso: Integrazione degli strumenti di clustering
Marca: SIASUN

Settori industriali

Industriale

SIASUN

Manipolatore a vuoto SIASUN serie Phoenix Plus

Prezzo di listino: Prezzo su richiesta

Disponibile

Braccio robotico

Il manipolatore a vuoto SIASUN PHOENIX PLUS opera in sistemi di strumenti integrati per la deposizione e l'incisione. Trasferimento controllato sotto vuoto tra le camere di carico e i moduli di processo.

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