- Trasferimento di wafer sotto vuoto
- Camere di carico
- Moduli di processo
- Ripetibilità
- Larghezza di banda
- Controllo della contaminazione
Descrizione
Il SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series trasferisce i wafer tra camere di carico, camere di trasferimento e moduli di processo (deposizione, attacco, metrologia) senza interrompere gli ambienti controllati.
Migliora ripetibilità, produttività e controllo della contaminazione nella produzione di semiconduttori e in camera bianca.
La Phoenix B Series è destinata ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei settori semiconduttori, istruzione e industriale.
Contattateci per prezzi e disponibilità.
Caratteristiche
Specifiche tecniche
Settori industriali
Robot aspirapolvere SIASUN serie Phoenix B
- Prezzo di listino
- Prezzo su richiesta
Disponibile
Robot umanoidi
Visualizzati di recente
Non hai ancora visualizzato alcun prodotto.
