- Trasferimento del substrato
- Camere di carico
- Camere a vuoto
- Throughput ripetibile
- Maneggevolezza precisa
- Intervento ridotto
Descrizione
Il robot per vuoto SIASUN SM15 trasferisce substrati (come i wafer) o componenti delicati tra camere di carico, camere a vuoto e stazioni interne negli strumenti di processo integrati.
Garantisce una produttività ripetibile, una movimentazione precisa e un intervento umano ridotto nella produzione di semiconduttori.
L'SM15 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori, dell'ispezione e della movimentazione industriale sotto vuoto.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | SM15 |
|---|---|
| Tipo di robot | Robot aspirapolvere |
| Destinazione d'uso | Strumenti per la lavorazione dei semiconduttori |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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Il robot a vuoto SIASUN SM15 trasferisce i substrati tra le camere di carico e le stazioni di lavorazione. Movimentazione precisa per garantire l'efficienza produttiva nella produzione di semiconduttori.
Robot aspirapolvere SIASUN SM15 è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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