- Transferência por vácuo
- Movimentação de pastilhas
- Controlo da pressão
- Redução da contaminação
- Interface de carga/descarga
- Fluxo repetível
Descrição
A Plataforma de Transferência a Vácuo SIASUN Diagram 600 permite a movimentação de wafers entre interfaces de carga/descarga e módulos de processo baseados em vácuo. Mantém condições de pressão controladas para reduzir a contaminação.
Utilizada principalmente para a transferência de wafers no interior de equipamentos de semicondutores, apoiando fluxos de produção repetíveis.
A Diagram 600 destina-se a aplicações de transferência a vácuo nos setores dos semicondutores, da investigação e da indústria.
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Características
Especificações
| Modelo | Diagrama 600 |
|---|---|
| Tipo de robô | Plataforma de transferência por vácuo |
| Utilização prevista | Transferência de semicondutores |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O SIASUN Diagram 600 é uma plataforma de transferência a vácuo para o transporte de wafer em equipamentos de semicondutores. Pressão controlada para fluxos de produção isentos de contaminação.
Diagrama da plataforma de transferência a vácuo SIASUN 600 é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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