- EFEM-Frontend-Schnittstelle Verbindet das Materialtransportsystem der Fabrik mit der internen Transferumgebung des Prozesswerkzeugs für eine standardisierte Waferübergabe.
- SEMI-konformes Design Wird als Schnittstellensystem präsentiert, das mit den SEMI-Standards für Anlagenkommunikation und -integration kompatibel ist.
- Dual-Arm-Transferroboter Ein Dual-Arm-Roboter mit externer Achse sorgt für eine hocheffiziente Waferbewegung am Werkzeugfrontend.
- Kompakte Stellfläche Die platzsparende Architektur eignet sich für platzbeschränkte Fab-Werkzeugfrontends.
- Flexible Transportkoordination Bewegt Wafer manuell oder in Abstimmung mit dem Fabriktransport wie Overhead-Systemen.
- Kontaminationskontrolle Unterstützt wiederholgenaue Wafertransfers und reduziert zugleich den Bedienerkontakt mit kritischen Substraten.
Beschreibung
Der SIASUN TSS-3000 ist ein EFEM (Equipment Front End Module) für die Halbleiterfertigung und dient als kontrollierte Schnittstelle zwischen dem Materialtransportsystem einer Fab und der internen Transferumgebung eines Prozesswerkzeugs. Er koordiniert das Laden, Ausrichten und Übergeben von Wafern und trägt zugleich zur Kontaminationskontrolle und zur standardisierten, SEMI-konformen Anlagenkommunikation bei.
Der auf eine kleine Stellfläche ausgelegte TSS-3000 nutzt einen Dual-Arm-Transferroboter mit externer Achse, um Wafer manuell oder in Abstimmung mit dem Fabriktransport wie Overhead-Systemen zu bewegen und so eine hocheffiziente, wiederholgenaue Waferhandhabung am Werkzeugfrontend zu unterstützen. Er eignet sich für Reinraum-Wafer-Fab-Umgebungen, in denen standardisierte Schnittstellen und ein reduzierter Bedienerkontakt mit kritischen Substraten gefordert sind. Kontaktieren Sie uns für Preise und Verfügbarkeit.
Funktionen
Technische Daten
| Marke | SIASUN |
|---|---|
| Modell | TSS-3000 |
| Robotertyp | EFEM (Equipment Front End Module) / Frontend-Wafertransfersystem |
| Schnittstelle | SEMI-konforme Frontend-Schnittstelle |
| Transferroboter | Dual-Arm-Roboter mit externer Achse |
| Stellfläche | Kompakt / kleine Stellfläche |
| Betrieb | Manuell oder abgestimmt mit dem Fabriktransport (z. B. Overhead-Systeme) |
| Typische Anwendungen | Frontend-Handhabung in der Wafer-Fab, Waferladen und Ausrichten/Übergabe |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
Kontaktieren Sie uns für aktuelle Preise, Verfügbarkeit und ein maßgeschneidertes Angebot zum SIASUN Truss Robot.
Er ist ein kartesischer Portalroboter für wiederholgenaue Materialhandhabung – am häufigsten das Be- und Entladen von CNC-Maschinen, Transfers zwischen Arbeitsgängen und Prozessautomatisierungslinien in der Fertigung.
Ja. Mit seinem großen Arbeitsbereich und der skalierbaren Schienenlänge kann ein einzelner Portalroboter mehrere CNC-Maschinen oder Arbeitsstationen bedienen und so die Zahl eigenständiger Handhabungsgeräte reduzieren.
Seine Endeffektor-Schnittstelle nimmt pneumatische oder Servo-Greifer, Vakuumsauger, Magnetgreifer und Werkzeugwechsler auf und lässt sich so für Teilehandhabung, flache oder ferromagnetische Oberflächen und Zellen mit mehreren Arbeitsgängen konfigurieren.
Ja. Robotix Market beliefert Unternehmen weltweit – mit Rechnungsstellung und After-Sales-Support. Kontaktieren Sie uns für ein Angebot.
SIASUN TSS-3000 EFEM Wafer-Handling-Roboter
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