Beschreibung

Der Vakuum-Manipulator der SIASUN PHOENIX PLUS-Serie arbeitet in Vakuumprozessanlagen wie Cluster-Tools für Abscheidung, Ätzen oder verwandte Vakuumprozesse.

Transferiert Wafer oder Substrate zwischen Load-Locks, Prozessmodulen und Metrologiestationen unter kontrollierten Vakuumbedingungen.

Die Phoenix Plus-Serie wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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Funktionen

Vacuum manipulator
Cluster tools
Deposition/etch
Load locks
Metrology stations
Vacuum conditions

Technische Daten

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: Cluster tool integration
Brand: SIASUN

Branchen

Industrial

SIASUN

SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix Plus-Serie

Regulärer Preis: Preis auf Anfrage

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Robotic Arm

Der SIASUN PHOENIX PLUS Vacuum Manipulator arbeitet in Clustertools für Abscheidung und Ätzen. Kontrollierter Vakuumtransfer zwischen Load-Locks und Prozessmodulen.

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