El robot de vacío SIASUN SM15 transfiere sustratos (como obleas) o piezas sensibles entre esclusas de carga, cámaras de vacío y estaciones internas en herramientas de proceso integradas.

Favorece una productividad repetible, una manipulación precisa y una menor intervención humana en la fabricación de semiconductores.

El SM15 atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor, de inspección e industrial.

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