SIASUN Vakum Robotu Phoenix B Serisi, kontrollü ortamları bozmadan waferleri yük kilitleri, transfer odaları ve proses modülleri (biriktirme, dağlama, metroloji) arasında aktarır.

Yarı iletken ve temiz oda üretiminde tekrarlanabilirliği, verimi ve kontaminasyon kontrolünü iyileştirir.

Phoenix B Serisi yarı iletken, eğitim ve endüstriyel vakum taşıma uygulamalarına hizmet eder.

Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.